기술 설명
고진공 ~ 초고진공 영역에서 진공 시스템의 누출 여부를 확인하기 위한 장비
세부 스펙
최소 헬륨 누축 측정도 > 10^-12 Torr l/s
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최소 헬륨 누축 측정도 > 10^-12 Torr l/s
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